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硅片作為半導(dǎo)體、光伏及微電子等領(lǐng)域的核心材料，其厚度精度直接影響產(chǎn)品質(zhì)量與性能。不同應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)厚度測(cè)量提出多樣化需求，催生出一系列精準(zhǔn)高效的測(cè)量技術(shù)。本文結(jié)合技術(shù)原理與實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景，系統(tǒng)闡述多種硅片厚度測(cè)量方法。一、接觸式測(cè)量：機(jī)械與壓電技...
電容式位移傳感器具有一般非接觸式儀器所共有的無(wú)磨擦、無(wú)損磨和無(wú)惰性特點(diǎn)外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。在國(guó)內(nèi)研究所，高等院校、工廠和軍工部門得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種*的測(cè)試儀器。應(yīng)用范圍：主要用于解決下述各種測(cè)量問(wèn)題：壓電微位移、振動(dòng)臺(tái)，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測(cè)量等。性能：電容式位移傳感器的電容器極板多為金屬材料，極板間襯物多為無(wú)機(jī)材料，如空氣、玻璃、陶瓷、石英...
折射率測(cè)量?jī)x是利用周圍光線進(jìn)行測(cè)量，不用電池和任何電源，它適合在實(shí)驗(yàn)室或野外使用，取一滴樣品滴到棱鏡中，并讀取數(shù)值就可以了。他的手柄具有橡皮涂層，可與測(cè)量溶液*隔離，可避免使用者自身熱量的散發(fā)使測(cè)量值出現(xiàn)誤差。我們所有的折射計(jì)產(chǎn)品都具有自動(dòng)溫度補(bǔ)償功能：在10°C-30°C時(shí)，如自動(dòng)溫度補(bǔ)償設(shè)定為20°C，那么他會(huì)自動(dòng)調(diào)整溫度，也可以利用蒸餾水重新校準(zhǔn)，產(chǎn)品裝配專用塑料盒子和校準(zhǔn)起子。測(cè)量原理：通過(guò)測(cè)量棱鏡的折射角確定光學(xué)材料的折射率，講反射鏡式平行光管安裝在氣動(dòng)軸承上，利用...
電容式位移傳感器是以電容器為敏感元件，將機(jī)械位移量轉(zhuǎn)換為電容器電容量變化的一種傳感器。其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、分辨率高、工作可靠、動(dòng)態(tài)響應(yīng)好，可實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量，能在惡劣環(huán)境條件下工作，主要用于位移、液位等方面的測(cè)量。本產(chǎn)品是一種非接觸電容式原理的精密測(cè)量?jī)x器，具有一般非接觸式儀器所共有的無(wú)磨擦、無(wú)損磨和無(wú)惰性特點(diǎn)外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。在國(guó)內(nèi)研究所，高等院校、工廠和軍工部門得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和...
鍵合機(jī)是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng)，可以處理從碎片到200mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝，例如陽(yáng)極，玻璃粉，焊料，共晶，瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設(shè)計(jì)允許對(duì)不同的晶圓尺寸和工藝進(jìn)行快速便捷的重新工具化，轉(zhuǎn)換時(shí)間不到5分鐘。這種多功能性非常適合大學(xué)，研發(fā)機(jī)構(gòu)或小批量生產(chǎn)應(yīng)用。本產(chǎn)品與大批量制造工具上的鍵合室設(shè)計(jì)相同，鍵合程序易于轉(zhuǎn)移，可輕松擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模。鍵合機(jī)的結(jié)構(gòu)說(shuō)明：1、爐體：采用雙層水夾層結(jié)構(gòu)，爐壁溫度不超過(guò)60℃，內(nèi)外壁為不銹鋼拋光。上...
隨著納米技術(shù)的進(jìn)步和薄膜工藝的發(fā)展(太陽(yáng)能電池，CVD，PVD，DLC，MEMS等)，納米力學(xué)測(cè)試已成為標(biāo)準(zhǔn)方法。這種方法改進(jìn)了傳統(tǒng)硬度測(cè)試的不足，通過(guò)J尖的壓劃頭，高的空間分辨率和較精確的原位載荷-位移數(shù)據(jù)，可以較精確測(cè)量小載荷和淺壓痕條件下的材料力學(xué)測(cè)試。納米壓痕-單一/多次壓痕，根據(jù)ISO14577測(cè)量薄膜、涂層和塊體材料的硬度，楊氏模量，拉伸和vonMises應(yīng)力，接觸剛度等。納米劃痕-采用恒定、漸進(jìn)和用戶自定義可編程加載方式，評(píng)價(jià)薄膜、涂層和塊體材料的劃痕硬度和劃痕...