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在精密儀器、高級制造和科研實(shí)驗(yàn)領(lǐng)域,微小的振動(dòng)都可能影響設(shè)備的正常運(yùn)行,甚至導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)失真或產(chǎn)品精度下降。為了解決這一問題,主動(dòng)隔震臺應(yīng)運(yùn)而生。它是一種能主動(dòng)檢測并抵消外界振動(dòng)的先進(jìn)設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)、地震觀測、航空航天...
HerzTS主動(dòng)隔振臺介紹:在21世紀(jì)納米技術(shù)(即先進(jìn)的半導(dǎo)體代表相關(guān)的信息技術(shù),基因療法等生命科學(xué)相關(guān)技術(shù),原子或分子處理如MEMS和工程技術(shù)等新材料生產(chǎn)),振動(dòng)、噪聲、電磁領(lǐng)域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑制因素。在納米技術(shù)中,為了獲得可靠的結(jié)果,使用充氣被動(dòng)隔振臺無法隔離低頻振動(dòng),此時(shí)需要主動(dòng)隔離。主動(dòng)式隔振系統(tǒng)“TS系列”將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。它將有助于發(fā)展目前的技術(shù)和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術(shù)。HerzTS主動(dòng)隔振臺特點(diǎn):1、在全部的6個(gè)自由度范圍...